대기중에는 눈으로 확인할 수 있는 가는먼지, 기름, 연기 및 금속분말 등에서부터 육안으로는 확인되지
않는 미립자등 각종먼지가 부유하고 있습니다. 그입자들의 크기는 0.01㎛ 에서 100㎛정도까지 대기중에
1000000정도로 광범위하게 포함되어 있습니다.
사람의 육안으로 확인할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며 이러한 먼지는 크린룸에서 제거하기에는 너무
크기 때문에 공조기에서 제거되어야 합니다. 크린룸에서 제어되는 입자의 크기는 1㎛이하의 Sub Micron
입자를 대상으로 하고 있습니다. FED(미국연방규격)에서 규정하고 있는 청정도 대상입자는 0.5㎛을 표준으로
규정하고 있습니다.
아래의 그림에서는 대기중 입자의 크기를 나타내고 있습니다
