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Home
> 크린룸이란? > 크린룸의 규격 및 청정도 |
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CLASS |
100 |
1000 |
10,000 |
100,000 |
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CLASS |
100 |
1000 |
10,000 |
100,000 |
| 반도체공업 |
원료 |
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정밀기기 |
미니에어츄어
베어링(소형) |
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결정정제 |
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보통베어링 |
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연마 |
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시계조립 |
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광산 |
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전자시계조립 |
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마스크붙임 |
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전기릴레이 |
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도포공정 |
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병원
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무균수술실 |
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멧팅공정 |
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일반수술실 |
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마찰공정 |
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무균동물실험실 |
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조립시험 |
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수술용기구분실 |
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| 전산기 |
곤포 |
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약재실 |
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저가테이프 |
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일반병실 |
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자기드럼 |
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진료실 |
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비지콘 |
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제약의료
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내용약제조 |
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| 전자기기 |
브라운관 |
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주사액엠플 |
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필름제조 |
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화장품제조 |
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소형린레이 |
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의료기제조 |
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프린트판 |
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식품
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유제품제조 |
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정밀계기 |
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알콜양조 |
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가공,조립 |
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식육가공 |
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| 광학기기 |
렌즈연마 |
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필름제조 |
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동현상,건조 |
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도장 |
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조립.검사 |
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| 크린룸
크라스 |
0.5㎛이상의
입자 최대수 |
0.5㎛이상의
입자 최대수 |
온도 |
상대온도 |
압력 |
기류
환기회수 |
조도 |
| /ft3(ℓ) |
/ft3(ℓ) |
℃ |
% |
mmAq |
m/sec |
Lux |
| 100 |
100 (3.5) |
|
일반
22.2 ±2.8
특수
22.2 ±0.14
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40±5 |
1.27이상밀폐
상랜란실압 |
층류식
0.46m/s+20%
난류식 20회/hr |
0.076~1.615 |
| 10,000 |
10,000 (350) |
65 (2.3) |
| 100,000 |
100,000 (3,500) |
700 (25) |
다른 크라스의 표시(예 크라스 1000,5000)등은 상기 3크라스 입자경 분포와 평행으로 그린 선하고
0.5㎛의 선하고 교차점의 입자수로 정의한다.
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| 크린룸
크라스 |
0.5㎛이상의
입자 최대수 |
0.5㎛이상의
입
자 최대수 |
0.5㎛이상의
입자 최대수 |
0.5㎛이상의
입자 최대수 |
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/ft3(ℓ) |
/ft3(ℓ) |
/ft3(ℓ) |
/ft3(ℓ) |
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100 |
100
(3.5) |
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0.1(0.0035) |
1,200(12,900) |
|
10,000 |
10,000
(350) |
65
(2.3) |
0.5(0.0176) |
6,000(64,60) |
|
100,000 |
100,000
(3,500) |
700
(25) |
25(0.0884) |
30,0009323,300 |
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